カーボンナノチューブの製造装置および製造方法

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：牛木護 , 高橋知之 , 矢野卓哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-034442
公開番号（公開出願番号）：特開2017-149612
特許番号：特許第6455988号
出願日： 2016年02月25日
公開日（公表日）： 2017年08月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】カーボンナノチューブが合成されるチャンバーと、前記チャンバーに接続され、予混合火炎を形成する1つ以上の第一の管と、前記チャンバーに接続され、少なくとも炭素源ガスを供給する1つ以上の第二の管と、前記チャンバーに接続され、少なくとも炭素源ガスを供給する、前記第二の管とは異なる1つ以上の第三の管と、前記チャンバーに設けられた保温手段とを備え、前記第一の管および第二の管の少なくとも一方から触媒原料を供給し、前記第三の管から供給する炭素源ガスの流量が、前記第二の管から供給する炭素源ガスの流量よりも大きいことを特徴とするカーボンナノチューブの製造装置。

IPC (2件)：