抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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膜厚およびCo組成をそれぞれ2~40nmおよび0~100at.%の範囲で変化させることにより,基板温度300°CでMgO(111)単結晶基板上に最密充填面配向したエピタキシャルCo-Pt合金膜を形成した。規則度およびfcc(Al,L1
1)とhcp(A3,B
h,D0
19)結晶の体積比を考慮することにより,結晶構造を決定した。31~86at.%のCo組成範囲において,準安定規則相(L1
1,B
h,D0
19)を含む膜が形成された。また,より厚いCo
50Pt
50およびCo
75Pt
25膜に対して規則相形成が促進された。Ptリッチおよびほぼ等比組成の膜はfcc結晶から構成され,Co組成が約60at.%を超えるとhcp結晶の体積比が増加した。Co組成の増加に伴い,結晶構造がA1=>A1+SFs(SFs:積層欠陥)=>L1
1+SFs=>L1
1+B
h(+D0
19)=>B
h(+D0
19)+SFs=>A3+SFsのように変化することが分かった。準安定規則相を含む膜は強い垂直磁気異方性を示し,37~75at.%のCo組成範囲において10
7erg/cm
3以上のK
uが得られた。(著者抄録)