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J-GLOBAL ID：201602200323738242   整理番号：16A0182682

MgO(001)基板上に形成した軟磁性Fe基合金単結晶薄膜の構造解析

Structure Analysis of Soft Magnetic Fe-Based Alloy Single-Crystal Thin Films Formed on MgO(001) Substrates

著者 (6件)： 大竹充 (工学院大 工) ,  大竹充 (中央大 理工) ,  川井哲郎 (中央大 理工) ,  二本正昭 (中央大 理工) ,  桐野文良 (東京藝術大 大学院美術研究科) ,  稲葉信幸 (山形大 工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 115  号： 356(MR2015 22-33)  ページ： 25-30  発行年： 2015年12月03日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： MgO(001)単結晶基板上に40nm厚のFe_100-xB_x(x=0,8,13,18,25at.%),Fe_100-ySi_y(y=0,2,6,10at.%),および,Fe_100-zAl_z(z=0,4,10,20,30at.%)合金膜を基板温度を室温から600°Cの範囲で変化させることにより形成した。反射高速電子回折法,X線回折法,および,高分解能断面透過型電子顕微鏡観察により,結晶特性を系統的に調べた。8at.%以下のB組成,用いた全てのSi組成(0~10at.%),20at.%以下のAl組成の範囲では,調べた全ての基板温度において,bcc格子の不規則A2構造を持つ(001)単結晶膜がエピタキシャル成長した。200,400,600°C以下でそれぞれ形成したFe₈₇B₁₃,Fe₈₂B₁₈,Fe₇₅B₂₅膜にはアモルファス相が含まれ,B組成の増加に伴い結晶化温度が上昇する傾向が認められた。200°C以上で形成したFe₇₀Al₃₀膜はbcc格子のB2(001)規則合金から構成され,基板温度の上昇に伴い規則度が増加した。(著者抄録)

シソーラス用語： 酸化マグネシウム ,  材料 ,  *軟磁性材料 ,  鉄合金 ,  単結晶 ,  *構造解析 ,  規則度 ,  X線回折分析 ,  電子回折 ,  電子顕微鏡観察 ,  *金属薄膜
準シソーラス用語： 基板材料

分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (5件)： MgO ,  軟磁性 ,  Fe基合金 ,  単結晶薄膜 ,  構造解析