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J-GLOBAL ID：201602216058791059   整理番号：16A0182687

L1₀規則構造を持つFePt/FePd積層膜の形成

Formation of FePt/FePd Multilayer Films with L1₀ Ordered Structure

著者 (8件)： 中村将大 (中央大 理工) ,  落合亮真 (中央大 理工) ,  野口陽平 (中央大 理工) ,  大竹充 (中央大 理工) ,  大竹充 (工学院大 工) ,  二本正昭 (中央大 理工) ,  桐野文良 (東京藝術大 大学院美術研究科) ,  稲葉信幸 (山形大 工)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 115  号： 356(MR2015 22-33)  ページ： 57-62  発行年： 2015年12月03日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： L1₀構造を持つエピタキシャルFePt,FePd単層膜,FePt/FePd二層膜および多層膜を超高真空RFマグネトロンスパッタリング法によりMgO(001)単結晶基板上に形成し,磁化容易軸であるc軸の膜面垂直方向への制御を試みた。単層膜において,MgO(001)基板上に形成したFePd膜は層厚が40nm以下の場合,c軸が面直に向いたL1₀(001)単結晶膜であるのに対し,FePt膜では,層厚が2.5nmより厚くなるとL1₀(001)結晶に加え,c軸が面内を向いたL1₀(100)結晶やL1₀(010)結晶が混在した。二層膜や多層膜において,総膜厚を10nmとした場合,積層順に関わらず,一層あたりのFePt層厚が2.5nm以下ではL1₀(001)結晶のみから構成される膜が形成されたのに対し,FePt層厚を厚くするとL1₀(100)結晶やL1₀(010)結晶が混在する傾向が見られた。また,総膜厚を40nmとした場合,FePt層厚が2.5nm以下であっても,L1₀(001)結晶に加えて,L1₀(100)結晶やL1₀(010)結晶が混在することが分かった。(著者抄録)

シソーラス用語： 構造 ,  *多層膜 ,  軸方向 ,  マグネトロンスパッタリング ,  結晶 ,  磁気的性質 ,  酸化マグネシウム ,  鉄合金 ,  *金属間化合物 ,  磁化容易軸 ,  *L10型金属間化合物
準シソーラス用語： 規則構造

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  磁性材料  (NA04040H)

タイトルに関連する用語 (2件)： 規則構造 ,  積層膜