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J-GLOBAL ID：200901051685903590
Update date: Jun. 07, 2020
SATO MASARU
サトウ マサル | SATO MASARU
Affiliation and department：
Research field (1)：
Electric/electronic material engineering
Research keywords (1)：
Cuにおける拡散バリヤ
Research theme for competitive and other funds (1)：
- 45~32nmノードに対応したCu/ナノバリヤ/low-k材料における各界面での界面制御のあり方
MISC (1)：
Lectures and oral presentations (10)：
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ZrNバリヤを用いたCu/層間絶縁膜間の界面制御
(平成19年度電子情報通信学会電子部品・材料研究会(CPM) 2007)
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Cu/ZrN/SiO2/Si構造における極薄ZrNバリヤの適用
(平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会 2007)
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Cu/SiOC間にZrNバリヤを用いた理想的な界面のあり方の検討
(2007年(平成19年)秋季第68回応用物理学会学術講演会 2007)
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Application of extremely thin ZrN film as a diffusion barrier between Cu and SiOC
(Symposium on Organic and Inorganic Electronic Materials and Related Nanotechnologies(EM-NANO 2007) 2007)
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Hot-wire法におけるラジカル窒化反応させたZrNバリヤの熱的安定性
(2007年(平成19年)春季第54回応用物理学関連連合講演会 2007)
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Professional career (1)：
Awards (2)：
- 2007 - 平成19年度電気・情報関係学会北海道支部連合大会優秀論文発表賞
- 2007 - 応用物理学会北海道支部学術講演会発表奨励賞
Association Membership(s) (2)：
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