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J-GLOBAL ID：200902000125436015   Reference number：92A0324697

トーチ走査を用いたDCプラズマジェットCVD法によるダイヤモンド合成

Author (1)： YAMANOI KIYOSHI (日立化成工業)
Material： 表面技術協会講演大会講演要旨集
Volume： 85th  Page： 98  Publication year： Mar. 1992 
JST Material Number： Y0050A  ISSN： 0917-2947  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： トーチ ,  走査 ,  DCプラズマ ,  ジェット ,  CVD法 ,  ダイヤモンド