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J-GLOBAL ID：200902001921946978   Reference number：91A0693301

Numerical simulation of horizontal CVD reactor: the effects of fluid dynamics, gas-phase and surface kinetics.

Author (2)： SATO T (Kyushu Univ., Kasuga, JPN) ,  IMAIASHI N (Kyushu Univ., Kasuga, JPN)
Material： Proceedings of the ASME-JSME Thermal Engineering Joint Conference, 1991, Vol.1  (Proc ASME JSME Therm Eng Jt Conf 1991 Vol 1)
Page： 399-406  Publication year： 1991 
JST Material Number： K19910378  ISBN： 0-7918-0612-X  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： CVD