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J-GLOBAL ID：200902001985060701   Reference number：85A0078974

Spherical angular distribution of atoms sputtered with energetic deuterium at grazing incidence.

すれすれ入射での高エネルギー重水素によりスパッタした原子の球面角度分布

Author (4)： BECERRA-ACEVEDO R (Max-Planck-Inst. Plasmaphysik, Fed Rep Germany) ,  BOHDANSKY J (Max-Planck-Inst. Plasmaphysik, Fed Rep Germany) ,  ECKSTEIN W (Max-Planck-Inst. Plasmaphysik, Fed Rep Germany) ,  ROTH J (Max-Planck-Inst. Plasmaphysik, Fed Rep Germany)
Material： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
Volume： 230  Issue： 1/3  Page： 631-634  Publication year： Mar. 1984 
JST Material Number： H0899A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： sputtering ,...

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JST classification (1)： Sputtering  (BK16110U)

Terms in the title (7)： すれすれ入射 ,  高エネルギー ,  重水素 ,  スパッタ ,  原子 ,  球面 ,  角度分布