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J-GLOBAL ID：200902002027987316   Reference number：92A0377006

Структура осажденного хрома при магнетронном распылении.

マグネトロンスパッタリングにおける蒸着クロムの構造
Author (7)：
TURTSEVICH E V

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RAKITSKIJ A N

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MARUSHKO V E

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GORBAN' V F

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SAGAJDAK V A

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Material：
Poroshkovaya Metallurgiya  (Powder Metallurgy)

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Issue： 2  Page： 56-63  Publication year： Feb. 1992 
JST Material Number： R0234A  ISSN： 0032-4795  CODEN： PMANA  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Ukraine (UKR)  Language： RUSSIAN (RU)
Thesaurus term：
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(WC08022K)

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(BK14030T)

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