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J-GLOBAL ID：200902015542354207   Reference number：92A0808912

Measurement of Plasma Parameters in N₂/SiH₄ Plasma of Coaxial Line Type MPCVD System. (II).

同軸線路型MPCVD装置におけるN₂/SiH₄プラズマのプラズマパラメータの空間分布測定 (II)

Author (2)： SHIMODA TSUYOSHI (早稲田大) ,  KATO ISAMU (早稲田大)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 53rd  Issue： 1  Page： 37  Publication year： Sep. 1992 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (7)： 同軸線路 ,  MPCVD ,  N2 ,  SiH4 ,  プラズマ ,  プラズマパラメータ ,  空間分布