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J-GLOBAL ID：200902015596906329   Reference number：92A0831222

Optical properties of ZnO films prepared by RF magnetron sputtering.

RFマグネトロンスパッタによって作製したZnO薄膜の光学的特性

Author (4)： TAKADA SHUICHI (東京電機大 工) ,  IKEDA OSAMU (東京電機大 工) ,  NAKANO ATSUSHI (東京電機大 工) ,  FUJINAKA MASAHARU (東京電機大 工)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 53rd  Issue： 2  Page： 430  Publication year： Sep. 1992 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： RF ,  マグネトロンスパッタ ,  作製 ,  ZnO薄膜 ,  光学的特性