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J-GLOBAL ID：200902015646288869   Reference number：86A0509153

Optical and electrical characterizations of laser-chemical-vapor-deposited aluminum oxynitride films.

レーザ化学蒸着法により作製したアルミニウム酸化窒化物膜の光学的および電気的特性評価

Author (3)： DEMIRYONT H (Colorado State Univ.) ,  THOMPSON L R (Colorado State Univ.) ,  COLLINS G J (Colorado State Univ.)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 59  Issue： 9  Page： 3235-3240  Publication year： May. 01, 1986 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： aluminum oxide ,...
Semi thesaurus term： Laser Chemical Vapor Deposition

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JST classification (2)： Electric conduction in semiconductors and insulators in general  (BM03041P) ,  Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A)

Terms in the title (9)： レーザ ,  化学蒸着法 ,  作製 ,  アルミニウム ,  酸化 ,  窒化物膜 ,  光学 ,  電気的特性 ,  評価