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J-GLOBAL ID：200902018986443051   Reference number：86A0425090

In situ characterization of nucleation, growth, and composition of ion-assisted films by ellipsometry, reflectance-transmittance measurements, and ion-scattering spectroscopy.

分光偏光解析法,反射率-透過率測定,およびイオン散乱分析法によるイオン応用蒸着膜の核生成,成長,および組成のその場評価

Author (4)： MARTIN P J (CSIRO, Australia) ,  NETTERFIELD R P (CSIRO, Australia) ,  SAINTY W G (CSIRO, Australia) ,  PACEY C G (CSIRO, Australia)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 4  Issue： 3 Pt 1  Page： 463-464  Publication year： May. 1986 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： gold ,...

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JST classification (2)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I) ,  Interactions with ions  (BK16070Z)

Terms in the title (12)： 分光偏光解析法 ,  反射率 ,  透過率 ,  イオン散乱 ,  分析法 ,  イオン ,  応用 ,  蒸着膜 ,  核生成 ,  成長 ,  組成 ,  評価