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J-GLOBAL ID：200902019031549013   Reference number：90A0714842

Soft x-ray resist characterization: Studies with a laser plasma x-ray source.

Author (3)： KUBIAK G D (Sandia National Lab., CA) ,  OUTKA D A (Sandia National Lab., CA) ,  ZEIGLER J M (Sandia National Lab., NM)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 1263  Page： 272-281  Publication year： 1990 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： LASER