Art

J-GLOBAL ID：200902131021243247   Reference number：00A0593461

Siナノデバイス (7) シリコンを使った新しい素子をめざして

Author (4)： TORIUMI AKIRA (東芝) ,  KOGA JUNJI (東芝) ,  OBA RYUJI (東芝) ,  UCHIDA KEN (東芝)
Material： FEDジャーナル  (FED Journal)
Volume： 11  Issue： 1  Page： 49-56  Publication year： 2000 
JST Material Number： L2842A  ISSN： 0918-2772  CODEN： FEJAEW  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： Si ,  ナノデバイス ,  シリコン