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J-GLOBAL ID：200902131033072855   Reference number：97A0502727

Correlation between electrochemical test using TiN thin film and scratch test.

TiN薄膜における電気化学試験とスクラッチ試験との相関性

Author (2)： NITTA SEIJI (工学院大) ,  KIMURA YUJI (工学院大)
Material： 工学院大学研究発表講演会講演要旨
Volume： 39th  Page： 79  Publication year： Oct. 1996 
JST Material Number： Z0295B  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： TiN薄膜 ,  電気化学 ,  試験 ,  スクラッチ試験 ,  相関性