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J-GLOBAL ID：200902131055251273   Reference number：02A0568262

産業用X線CT技術の進展 高密度実装半導体および材料試験複合装置による応用

Author (5)： HIRAKIMOTO AKIRA (島津製作所) ,  SHIOTA TADAHIRO (島津製作所) ,  EDAHIRO MASAMI (島津製作所) ,  KAMEGAWA MASAYUKI (島津製作所) ,  YOSHIKAWA NOBUHIRO (東大 生産技研)
Material： 実験力学  (JSEM)
Volume： 1  Issue： 3  Page： 127-131  Publication year： Oct. 2001 
JST Material Number： L4590A  ISSN： 1346-4930  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *X-ray computed tomography ,...

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JST classification (2)： Telephone  (ND11030P) ,  Material testing in general  (HB01000R)

Reference (6)：

• HOUNSFIELD, G. Computerized Transverse Axial Scanning Tomography. British Journal of Radiology. 1973, 46, 552, 1016-1021
• FELDKAMP, L. A. Practical Cone-Beam Algorithm. Optical Society of America. 1984, 1, 6, 612-619
• 開本亮. マイクロフォーカスX線装置の進展と非破壊検査技術. 生産と技術. 2000, 52, 2, 35-38
• TAKADO, T. An Analysis of Semiconductor Package by X-ray CT Instrument. Proc. of the 6^ Symposium on "Microjoining and Assembly Technology in Electronics (MATE). 2000, 85-90
• HIRAKIMOTO, A. Micro Microfocus X-ray Computed Tomography and It's Industrial Applications. Proc. of International Congress on Analytical Sciences. 2001, 3K05

Terms in the title (7)： 産業 ,  X線CT ,  進展 ,  高密度実装 ,  材料試験 ,  複合装置 ,  応用