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J-GLOBAL ID：200902212376827932   Reference number：04A0046374

電子顕微鏡法による材料開発のための微細構造研究最前線(3) Si(001)基板にエピ成長させたβ-FeSi2スパッタ膜

Author (3)：
ITAKURA MASARU

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TOMOKIYO YOSHITSUGU

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Material：
まてりあ  (Materia Japan)

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Volume： 42  Issue： 12  Page： 888  Publication year： Dec. 20, 2003 
JST Material Number： F0163A  ISSN： 1340-2625  CODEN： MTERE2  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
Thesaurus term：
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Semiconductor thin films 
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