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J-GLOBAL ID：200902212376837857   Reference number：06A0238432

Toward Nanometer-Scale Optical Photolithography: Utilizing the Near-Field of Bowtie Optical Nanoantennas

ナノメータ規模の光リソグラフィーに向けて: 蝶ネクタイ型光ナノアンテナの近接場の利用

Author (6)： SUNDARAMURTHY Arvind (Stanford Univ., California) ,  SCHUCK P.James (Stanford Univ., California) ,  CONLEY Nicholas R. (Stanford Univ., California) ,  FROMM David P. (Stanford Univ., California) ,  KINO Gordon S. (Stanford Univ., California) ,  MOERNER W.E. (Stanford Univ., California)
Material： Nano Letters  (Nano Lett)
Volume： 6  Issue： 3  Page： 355-360  Publication year： Mar. 2006 
JST Material Number： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *photoresist ,...

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JST classification (3)： Homopolymerization  (CG04020S) ,  Polarization,birefringence,optical rotation  (BD03040X) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (7)： ナノメータ ,  規模 ,  光リソグラフィー ,  蝶 ,  ネクタイ ,  光ナノアンテナ ,  近接場