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J-GLOBAL ID：200901000565426050
Update date: Sep. 28, 2022
Kumano Hiroyuki
クマノ ヒロユキ | Kumano Hiroyuki
Affiliation and department：
旧所属 東北大学 大学院工学研究科
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Job title：
大学院学生(博士課程)
Research field (1)：
Machine materials and mechanics
Research theme for competitive and other funds (2)：
1999 - キャビテーション噴流を利用したゲッタリング
1999 - Gettering by using a cavitating jet
MISC (7)：
Evaluation of Peening Intensity of Cavitation Shotless Peening by Using Almen Strip. Proceedings of APCFS and ATEM'01. 2001
Possibility of Gettering in Silicon Wafer by Using a Cavitating Jet. Journal of Jet Flow Engineering. 2001. 18. 2. 4-9
Backside Damage Introduced by Cavitating Jet for Gettering. Proceedings of Inter Pack'01. 2001
H Soyama, H Kumano. Oxidation-induced stacking faults introduced by using a cavitating jet for gettering in silicon. ELECTROCHEMICAL AND SOLID STATE LETTERS. 2000. 3. 2. 93-94
キャビテーション噴流によるシリコンウェーハへのバックサイドダメージの導入. 日本機械学会東北支部第35期総会・講演会講演論文集. 2000
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Education (4)：
- 2000 Tohoku University
- 2000 Tohoku University Graduate School, Division of Engineering
- 1998 Tohoku University Faculty of Engineering
- 1998 Tohoku University Faculty of Engineering
Professional career (1)：
(BLANK) (Tohoku University)
Awards (1)：
2000 - 日本機械学会東北支部独創研究学生賞
Association Membership(s) (1)：
日本機械学会
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