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J-GLOBAL ID：200901090561066385   Update date: Jun. 08, 2021

Shibuya Masato

シブヤ マサト | Shibuya Masato
Homepage URL  (1)： http://www.t-kougei.ac.jp/engineering/index.html
Research field  (3)： Aerospace engineering ,  Electric/electronic material engineering ,  Optical engineering and photonics
Research keywords  (4)： 光リソグラフィー ,  光学設計 ,  Optical Lithography ,  Optical Design
Research theme for competitive and other funds  (6)：
  • 宇宙光学系
  • 光リソグラフィーの超解像技術
  • 光学系の基礎理論
  • Space Optics
  • Resolution enhancement technology of optical lithography
Show all
MISC (11)：
ｍore...
Patents (4)：
  • 照明光学装置
  • 投影露光装置
  • 照明光学装置
  • 被投影原版
Professional career (1)：
  • (BLANK) (The University of Tokyo)
Committee career (5)：
  • 2002 - 次世代リソグラフィー研究会 幹事
  • 2001 - 応用物理学会 評議員
  • 1993 - 1998 光設計研究グループ 運営委員
  • 1994 - 1996 日本光学会 編集委員
  • 1989 - 1991 日本光学会 常任幹事
Awards (1)：
  • 1996 - 科学技術庁長官賞
Association Membership(s) (4)：
次世代リソグラフィー研究会 ,  光設計研究グループ ,  応用物理学会 ,  日本光学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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