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J-GLOBAL ID：201202266038816370   Reference number：12A0188089

大面積高速レーザ表面ナノ加工と機能創出=分速300mのCWレーザ走査によるナノトレンチ周期構造の形成=

Author (2)： KANEKO SATORU (神奈川県産技セ) ,  YOSHIMOTO MAMORU (東京工大)
Material： 光アライアンス  (Optical Alliance)
Volume： 23  Issue： 2  Page： 34-38  Publication year： Feb. 01, 2012 
JST Material Number： L1746A  ISSN： 0917-026X  CODEN： HARAEW  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *laser beam machining ,  *nanometer process ,  surface processing ,  *cw laser ,  *trench cut(processing) ,  pulsed laser ,  femtosecond laser

JST classification (2)： Applications of lasers  (BD04100V) ,  Special machining  (QC04000Y)

Terms in the title (8)： 大面積 ,  レーザ ,  ナノ加工 ,  創出 ,  CWレーザ ,  走査 ,  トレンチ ,  周期構造