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J-GLOBAL ID：201702222002729972   Reference number：17A0381553

An elastomer-based MEMS fabry-perot interferometer for physical and biological sensing by dry transfer technique

乾式移送法による物理的および生物学的センシングのためのエラストマーMEMS Fabry-Perot干渉計【Powered by NICT】

Author (5)： Takahashi Kazuhiro (Toyohashi Univ. of Tech., Toyohashi, Aichi, Japan) ,  Fujie Toshinori (JST PRESTO, Tokyo, Japan) ,  Sato Nobutaka (Waseda Univ., Tokyo, Japan) ,  Takeoka Shinji (Waseda Univ., Tokyo, Japan) ,  Sawada Kazuaki (Toyohashi Univ. of Tech., Toyohashi, Aichi, Japan)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2017  Issue： MEMS  Page： 704-707  Publication year： 2017 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： We developed an elastomer-base...

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Thesaurus term： Young's modulus ,  high temperature ,  *MEMS ,  pressure fluctuation ,  *interferometer ,  thin film ,  nanosheet ,  free standing film ,  Adhesiveness ,  elastic strain

JST classification (1)： Physical properties of polymer solids  (CG02024U)

Terms in the title (7)： 移送 ,  物理 ,  生物学 ,  センシング ,  エラストマー ,  MEMS ,  Fabry-Perot干渉計