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J-GLOBAL ID：201602250339969557   Reference number：16A0977084

Effect of H₂O on TDDB for a range of ULK ILD materials with varying damage resistance for robust and weak liners

ロバストで弱いライナのための変化する損傷抵抗を用いた範囲ULK ILD材料のためのTDDBに及ぼすH_2Oの影響【Powered by NICT】

Author (5)： Liniger E. G. (IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University) ,  Laibowitz R. B. (IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University) ,  Shaw T. M. (IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University) ,  Cohen S. A. (IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University) ,  Raja A. (IBM T.J. Watson Research Center, 1101 Kitchawan Road, Yorktown Heights, N.Y. 10598 2. Columbia University)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2016  Issue： IRPS  Page： DI-7-1-DI-7-5  Publication year： 2016 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： In this study we look at the c...

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Thesaurus term： triangular wave ,  physical adsorption ,  metal wire ,  voltage ,  activation energy ,  diaphragm(optics) ,  AC loss ,  *robustness ,  moisture ,  *liner(lining)
Semi thesaurus term： 銅線 ,  低電圧 ,  *TDDB , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (1)： Pattern recognition  (JE07000S)

Terms in the title (4)： ロバスト ,  ライナ ,  損傷抵抗 ,  TDDB