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J-GLOBAL ID：201702291172371169   Reference number：17A0502250

Control of a Pneumatic Anti-Vibration Apparatus by Decreasing Stiffness Using Voice Coil Motor

VCMを用いた剛性削除による除振装置の制御

Author (2)： TAKAGI SANGA (東京農工大) ,  WAKUI SHINJI (東京農工大)
Material： 電気学会制御研究会資料  (電気学会研究会資料)
Volume： CT-17  Issue： 5-17  Page： 17-22  Publication year： Mar. 19, 2017 
JST Material Number： L8007A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： vibration isolator ,  *semiconductor process ,  *servomotor ,  rigidity ,  control equipment ,  lithography ,  exposure (photography) ,  positioning device ,  natural frequency ,  exposure equipment ,  mechanical property
Semi thesaurus term： vibration isolator ,  *semiconductor manufacturing equipment

JST classification (2)： Semiconductor integrated circuit  (NC03162T) ,  Electric control equipment  (IC02020Y)

Terms in the title (4)： VCM ,  剛性 ,  削除 ,  除振装置