研究者
J-GLOBAL ID：200901052869723132   更新日: 2020年04月28日

河 兌坪

ハ テホ | Ha Taeho
所属機関・部署：
旧所属 大阪大学 大学院工学研究科 (専攻)機械システム工学専攻

旧所属 大阪大学 大学院工学研究科 (専攻)機械システム工学専攻 について


職名： 文部科学省教官
研究分野 (2件)： 加工学、生産工学 ,  光工学、光量子科学
研究キーワード (5件)： silicon wafer Defect Measurement ,  Optical Measurement ,  FIB加工 ,  シリコンウエハ加工欠陥計測 ,  超精密光応用計測
競争的資金等の研究課題 (2件)：
  • 光散乱によるCMP加工表面薄膜欠陥計測に関する研究
  • Optical Measurement of CMP Film Surface Defects using Light Scattering
MISC (10件)：
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学歴 (6件)：
  • - 2003 大阪大学 工学研究科 機会システム工学専攻
  • - 2003 大阪大学
  • - 2000 大阪大学 工学研究科 機械システム工学
  • - 2000 大阪大学
  • - 1995 国立釜山大学 工学部 精密機械工学
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学位 (2件)：
  • 工学修士 (大阪大学)
  • 工学博士 (大阪大学)
所属学会 (2件)：
精密工学会 ,  JSPE
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