研究者
J-GLOBAL ID：200901092937400934   更新日: 2024年04月17日

白﨑 博公

シラサキ ヒロキミ | SHIRASAKI HIROKIMI
研究キーワード (1件)： -
競争的資金等の研究課題 (31件)：
  • 2001 - 現在 FDTD法(時間領域差分法)による電磁波回路解析
  • 2001 - 現在 ナノフォトリソグラフィ?工程の光波計測検査
  • 2001 - 現在 衛星放送平面波アンテナ用テーパ形マイクロストリップ線路の解析
  • 2005 - 2006 干渉分光データのウェーブレット処理による半導体トレンチ形状特性
  • 2004 - 2005 干渉分光データのウェーブレット処理による半導体トレンチ形状特性
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論文 (207件)：
  • 2D and 3D isolation mounts scatterometry using RCWA and FDTD method. SPIE Advanced Microlithography 2016. 2016. 9778. 69
  • 3D isolation mounts scatterometry with RCWA and PML. SPIE Advanced Microlithography 2015. 2015. 9424. 70
  • Hirokimi Shirasaki. 3D Isolation Mounts Scatterometry with RCWA and PML. METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXIX. 2015. 9424. 9424211-9424217
  • Isolation mounts scatterometry with RCWA and PML. Proceedings of SPIE. 2014. 9050. 90502K1-90502K7
  • Scatterometry simulation for the isolation grooves and groove shapes optimization with GPU. SPIE Advanced Microlithography 2014. 2014. 9050-91
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MISC (384件)：
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書籍 (9件)：
  • 光学実務資料集
    (株)情報機構 2006
  • Arbitrary 3D linewidth forms measurement simulations for the next-generation semiconductor circuits by scatterometry using the FDTD method
    2004
  • Linewidth measurement simulations for semiconductor circuits by scatterometry using the FDTD and the time shortening calculation method
    2004
  • Resist and Silicon Trench Array Linewidth Measurement Simulations for the Next-Generation Semiconductor Circuits by Optical Scattering Properties Using the FDTD Method
    2003
  • Recent reserch developments in electronics & communications.(Co-author)
    2003
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講演・口頭発表等 (7件)：
  • スキャトロメトリの最近動向
    ((社)電子情報技術産業協会半導体部会(JEITA) 2007)
  • スキャトロメトリーの現状と課題
    (日本半導体製造装置協会(SEAJ) 2007)
  • 分光エリプソメーターによる形状計測
    ((社)オプトメカトロニクス協会 光センシング技術部会 2006)
  • Scatterometryの原理と最近の動向について
    (日本半導体製造装置協会(SEAJ) 2004)
  • Scatterometry(半導体光波散乱計測)技術の動向
    (富士電機システムズ?東京工場 2004)
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Works (4件)：
  • 平成19年度インターンシップ成果報告書
    2008 - 現在
  • インターンシップ活用の手引き
    2006 - 現在
  • インターンシップ解説ビデオ全3巻出演
    2003 - 現在
  • 2003年度インターンシップ成果報告書全国版
    2003 - 現在
学歴 (1件)：
  • 1970 - 1974 大阪大学 基礎工学部 電気工
経歴 (7件)：
  • 1999/04/01 - 現在 玉川大学 工学部 教授
  • 1990/04/01 - 1999/03/31 玉川大学 工学部 助教授
  • 1982/04/01 - 1990/03/31 玉川大学 工学部 講師
  • 1979/04/01 - 1982/03/31 福井工業大学 講師
  • 1977/04/01 - 1982/03/31 大阪工業大学 講師
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所属学会 (6件)：
電子情報通信学会 ,  OSAl ,  SPIE ,  日本精密工学会 ,  IEEE ,  応用物理学会
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