新しい種類の高電流金属イオンインプランテーション設備の若干の高級な表面改質応用

BROWN I G; DICKINSON M R; GALVIN J E; GODECHOT X; MACGILL R A

文献

J-GLOBAL ID：200902000082665490 整理番号：91A0921881

新しい種類の高電流金属イオンインプランテーション設備の若干の高級な表面改質応用

Some Novel Surface Modification Applications of a New Kind of High Current Metal Ion Implantation Facility.

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資料名：
巻： 13 号： 3 ページ： 217-228 発行年： 1991年09月
JST資料番号： C0161A ISSN： 0931-7058 CODEN： JMAEEV 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

金属蒸気真空アークイオン源を用いたイオンインプランテーション...

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金属の放射線による構造と物性の変化 , その他の表面処理 , 線源,照射装置

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