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J-GLOBAL ID：200902001915183105   整理番号：91A0562923

2元蒸着法よる導電性酸化物SrVO₃薄膜の作製 (2)

Preparation of Conductive SrVO₃ Thin Films by Dual-Source Evaporation.

著者 (2件)： 上久勝義 (東京工大 精密工研) ,  石原宏 (東京工大 精密工研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 38th  号： Pt 2  ページ： 436  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 蒸着 ,  導電性酸化物 ,  薄膜 ,  作製