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J-GLOBAL ID：200902001941131890   整理番号：88A0395301

レーザ誘起熱化学反応を利用したセラミックスの加工 CF₄ガス雰囲気中での加工特性

Laser-induced thermo-chemical etching of ceramics. Etching characteristics in CF₄ gas.

著者 (6件)： 土屋八郎 (京都工繊大 工芸) ,  後藤英和 (京都工繊大 工芸) ,  森勇蔵 (大阪大 工) ,  宮崎真 (京都工繊大 工芸) ,  安田光宏 (京都工繊大 大学院) ,  河原康司 (松下冷機)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 54  号： 5  ページ： 903-908  発行年： 1988年05月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ZrO₂,Al₂...

シソーラス用語： 炭酸ガスレーザ ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性 ,...

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分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (10件)：

• 1) 川澄博通 : レーザ加工技術, 日刊工業新聞社(1985).
• 2) 岡野啓作, 堤 千里, 村田良司, 高水一成 : セラミックスのCO₂レーザ穴あけ加工, 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集(1987)445.
• 3) 兼松 渉, 酒井清介, 伊藤 勝, 山内幸彦, 大司達樹, 伊藤正治 : ホットプレス窒化ケイ素のレーザ加工-加工変質層, 窯業協会誌, 94, 7(1986)671.
• 4) 土屋八郎, 後藤英和, 森 勇蔵, 広瀬喜久治, 遠藤勝義, 山内和人, 宮崎 眞, 安田光宏 : CO₂レーザによるSiおよびSi₃N₄表面酸化反応層の形成と表面層の除去機構, 昭和61年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(1986)549.
• 5) R. J. von Gutfeld and R. T. Hodgson : Laser Enhanced Etching in KOH, Appl. Phys. Lett., 40, 4, ( 1982) 352.

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ誘起 ,  熱化学反応 ,  セラミックス ,  ガス雰囲気 ,  加工特性