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J-GLOBAL ID：200902001969507801   整理番号：89A0165002

電子ビーム照射装置EX-7用の集積データ変換

Integrated data conversion for the electron beam exposure system EX-7.

著者 (6件)： KOYAMA K (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  IKENAGA O (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  ABE T (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  YOSHIKAWA R (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  TAKIGAWA T (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN) ,  WATANABE S (Toshiba Corp., Kawasaki, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 6  号： 6  ページ： 2061-2065  発行年： 1988年11月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビームリソグラフィーにおいてパターンを発生するためには,...

シソーラス用語： リソグラフィー ,...

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分類 (2件)： 電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子ビーム照射装置 ,  集積 ,  データ変換