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J-GLOBAL ID：200902002007004618   整理番号：91A0561547

Sub-Micron Gaps Without Sub-Micron Etching.

著者 (4件)：
FURUHATA T

FURUHATA T について

(IBM Research, Tokyo, JPN)

IBM Research, Tokyo, JPN について

, 
HIRANO T

HIRANO T について

(IBM Research, Tokyo, JPN)

IBM Research, Tokyo, JPN について

, 
GABRIEL K J

GABRIEL K J について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について

, 
FUJITA H

FUJITA H について

(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)

Univ. Tokyo, Tokyo, JPN について


資料名：
Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991  (Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991)

Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1991 について


ページ： 57-62  発行年： 1991年 
JST資料番号： K19910274  ISBN： 0-87942-642-X  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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