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J-GLOBAL ID：200902002087229950   整理番号：90A0083880

プラズマ促進有機金属化学蒸着により作製した金属性のSn-Zn合金膜の構造と性質

Structure and properties of metallic Sn-Zn alloy films prepared by plasma-enhanced metalorganic chemical vapor deposition.

著者 (3件)： LIN T J (Univ. Missouri-Rolla, MO, USA) ,  O’KEEFE T J (Univ. Missouri-Rolla, MO, USA) ,  JAMES W J (Univ. Missouri-Rolla, MO, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 177  ページ： 271-286  発行年： 1989年10月 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テトラメチルすずとジエチル亜鉛の比を注意深く変えて,25~1...

シソーラス用語： プラズマCVD ,...
準シソーラス用語： アルカン誘導体

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ ,  促進 ,  有機金属化学蒸着 ,  作製 ,  金属性 ,  Sn ,  Zn合金 ,  性質