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文献J-GLOBAL ID:200902015582008140整理番号:89A0470232

A study of the chemical and physical interaction between copper and polyimide.

銅とポリイミドの間の化学的および物理的相互作用

著者:SHIH D‐Y(IBM Thomas J. Watson Research Center, NY, USA)、PARASZCZAK J(IBM Thomas J. Watson Research Center, NY, USA)、KLYMKO N(IBM General Technology Division, NY, USA)・・・
資料名:J Vac Sci Technol A 巻:7 号:3 Pt.1 ページ:1402-1412
発行年:1989年05月
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