アルデヒド共重合体の高感度自己現象電子線レジスト

文献

J-GLOBAL ID：200902023104587943 整理番号：83A0086297

Highly sensitive self developing electron-beam resist of aldehyde copolymer.

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資料名：
巻： 8 号： 9/10 ページ： 469-472 発行年： 1982年11月
JST資料番号： H0465B ISSN： 0170-0839 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：ドイツ (DEU) 言語：英語 (EN)

脂肪族アルデヒドRCHO(R=Me,Et,Pr,C<sub>...

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交互共重合【’81~’92】

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