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J-GLOBAL ID：200902023275376347   整理番号：91A0571743

リング色素レーザを用いたcwRFシランプラズマ中のSi原子吸収測定

Absorption measurement of Si atom in cw-RF silane plasma using ring dye laser.

著者 (4件)： 虫賀光輝 (名古屋大 工) ,  榊原雅文 (名古屋大 工) ,  平松美根男 (名城大 理工) ,  後藤俊夫 (名古屋大 工)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 38th  号： Pt 1  ページ： 12  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (4件)： 色素レーザ ,  シラン ,  プラズマ ,  Si原子