研究者
J-GLOBAL ID:200901068761960832
更新日: 2024年07月20日
後藤 俊夫
ゴトウ トシオ | Goto Toshio
所属機関・部署:
中部大学 総合工学研究所
中部大学 総合工学研究所 について
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職名:
7.所長
研究分野 (3件):
電子デバイス、電子機器
, 光工学、光量子科学
, 薄膜、表面界面物性
研究キーワード (8件):
波長可変超短パルスレーザ
, レーザ分光
, ラジカル
, プラズマプロセス
, wavelength tunable ultra-short pulse laser
, laser spectroscopy
, radical
, plasma process
競争的資金等の研究課題 (6件):
1996 - 非線形ファイバー工学
1990 - レーザーの量子光学への応用に関する研究
1984 - レーザーの半導体プロセスへの応用に関する研究
Nonlinear fiber technology
Study on Application to Quantum Optics of Laser
Study on Applications to Semiconductor Processing of Laser
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MISC (1,196件):
M Ito, K Takeda, T Shiina, Y Okamura, H Nagai, M Hori, T Goto. Silicon-oxide etching process employing an electron-beam-excited plasma. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 2004. 22. 2. 543-547
M Ito, K Takeda, T Shiina, Y Okamura, H Nagai, M Hori, T Goto. Silicon-oxide etching process employing an electron-beam-excited plasma. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 2004. 22. 2. 543-547
T Ohta, M Hori, T Ishida, T Goto, M Ito, S Kawakami, N Ishii. Effects of driving frequency on the translational temperature and absolute density of Si atoms in very high frequency capacitively coupled SiF4 plasmas. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS. 2003. 42. 12B. L1532-L1534
T Ohta, M Hori, T Ishida, T Goto, M Ito, S Kawakami, N Ishii. Effects of driving frequency on the translational temperature and absolute density of Si atoms in very high frequency capacitively coupled SiF4 plasmas. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS. 2003. 42. 12B. L1532-L1534
J Higuchi, N Nishizawa, M Mori, R Goto, K Yamane, T Goto. Generation of squeezed vacuum using spectral filter by spatial light modulator and nonlinear polarization interferometer. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS. 2003. 42. 8. 5048-5051
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書籍 (16件):
応用物理学用語辞典
(株)オーム社 1998
量子エレクトロニクス
(株)昭晃堂 1998
フリーラジカルの科学
(株)学会出版センター 1998
物質(もの)とは その機能と変換
第11回「大学と科学」公開シンポジウム組織委員会 1997
検証:災害とは何か
(株)リバティ書房 1997
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学位 (1件):
工学博士
経歴 (12件):
2004 - 2005 名古屋大学高等研究院長
2005 - - 中部大学総合工学研究所長
2003 - 2004 名古屋大学副総長
2000 - 2003 名古屋大学工学研究科長・工学部長、評議員
2003 - - 日本学術会議第5部会員
1996 - 1998 名古屋大学ベンチャービジネスラボラトリー長
1994 - 1996 名古屋大学評議員
1986 - 1995 名古屋大学工学部電子工学科教授
1995 - - 名古屋大学工学研究科量子工学専攻教授
1992 - 1994 名古屋大学工学部教育体制委員長
1974 - 1986 同講師、助教授
1969 - 1974 名古屋大学工学部電子工学科助手
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委員歴 (14件):
2002 - 2004 応用物理学会 会長
2004 - 日本工学アカデミー 理事
2000 - 2002 応用物理学会 副会長
2002 - Institute of Physics Fellow
2002 - IEEE Fellow
1999 - 2000 レーザー学会 中部支部長
1995 - 2000 応用物理学会 本部評議員
1997 - 1999 応用物理学欧文誌刊行会 JJAP運営委員
1986 - 1998 レーザー学会 編集委員
1995 - 1997 応用物理学会 支部長
1995 - 1997 応用物理学会 東海支部長
1993 - 1995 応用物理学会 常務理事
1986 - 1988 応用物理学会プラズマエレクトロニクス研究会 委員長
応用物理学会 監事
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受賞 (9件):
2003 - 応用物理学会プラズマエレクトロニクス賞
2003 - 応用物理学会論文賞
2002 - Institute of Physics Fellow Award
2002 - 日本工学教育協会賞(業績賞)
2002 - IEEE Fellow Award
2001 - Int. Microprocesses and Nanotechnology Conference 2000 Paper Award
2001 - International Biographical Center's 21st Award for Achievement
2001 - レーザー学会業績賞(進歩賞)
1993 - レーザー学会業績賞(論文賞)
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所属学会 (7件):
日本工学アカデミー
, 応用物理学会プラズマエレクトロニクス研究会
, 応用物理学会
, 応用物理学欧文誌刊行会
, レーザー学会
, Institute of Physics
, IEEE
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