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J-GLOBAL ID：200902051277907238   整理番号：92A0281604

電気的故障解析と超微量SIMSにより不要なICドープ剤の識別と計量

Using electrical failure analysis and microvolume SIMS to identify and quantify undesired IC dopants.

著者 (2件)： ROSENBLATT D H (Watkins-Johnson Co., CA) ,  CHIA V K F (Charles Evans & Assoc., CA)
資料名： Microcontamination  (Microcontamination)
巻： 10  号： 2  ページ： 31-35,60  発行年： 1992年02月 
JST資料番号： D0679B  ISSN： 0738-713X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： GaAsマイクロ波集積回路で電気的分離特性不良が発生し,特性...

シソーラス用語： マイクロ波集積回路 ,...
準シソーラス用語： モノリシック集積回路

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 故障解析 ,  SIMS ,  IC ,  ドープ剤 ,  識別 ,  計量