真空中の急速熱アニーリングで生成させた自己整合型けい化チタン接合

YOSHIDA T; FUKUMOTO M; OHZONE T

文献

J-GLOBAL ID：200902051285502409 整理番号：88A0257418

真空中の急速熱アニーリングで生成させた自己整合型けい化チタン接合

Self-aligned titanium silicided junctions formed by rapid thermal annealing in vacuum.

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資料名：
巻： 135 号： 2 ページ： 481-486 発行年： 1988年02月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

VLSI技術への応用を目的に表題のけい化物接合を開発し,シー...

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半導体-半導体接触【’81~’92】

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