J-GLOBAL ID:200902131050966444整理番号:97A1006205
Problems of sacrifical etching in the presence of aluminium interconnect.
アルミニウム接合が存在する場合の犠牲エッチングの問題点
著者:GOOSEN J F L(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)、VAN DRIEEENHUIZEN B P(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)、FRENCH P J(Delft Univ. Technol., Delft, NLD)・・・
資料名:Sens Actuators A 巻:A62 号:1/3 ページ:692-697
発行年:1997年07月
資料名:Sens Actuators A 巻:A62 号:1/3 ページ:692-697
発行年:1997年07月