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J-GLOBAL ID：200902141977733698   整理番号：94A0918295

SiCのレーザーアブレーション堆積膜の作製とクラスター種のTime-of-Flight質量分析

Pulsed Laser Deposition of SiC Thin Film and Laser Desorption TOF Mass Spectroscopy Analysis of Clusters.

著者 (4件)： KIM M S (東京工大 工材研) ,  吉本護 (東京工大 工材研) ,  浅川寿昭 (東京工大 工材研) ,  鯉沼秀臣 (東京工大 工材研)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 55th  号： 3  ページ： 1008  発行年： 1994年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： SiC ,  レーザーアブレーション ,  堆積 ,  作製 ,  クラスター ,  質量分析