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J-GLOBAL ID：200902161121989749   整理番号：94A0179098

ピエゾ慣性モーターを用いた3次元粗動可能STMとFEMによる探針評価

An STM with a 3-D coarse mechanism using piezo-inertia motors and tip evaluation with FEM.

著者 (5件)： 奥山悟郎 (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  富取正彦 (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  菅田慶一 (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  木全英樹 (東京工大 大学院 総合理工学研究科) ,  高柳邦夫 (東京工大 大学院 総合理工学研究科)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 54th  号： 2  ページ： 384  発行年： 1993年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 慣性 ,  モーター ,  3次元 ,  STM ,  FEM ,  探針 ,  評価