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J-GLOBAL ID：200902165111043761   整理番号：96A0844734

Ar-N₂-H₂及びAr-O₂-H₂の流れているマイクロ波ポスト放電中のN及びO原子密度の決定

Determination of N and O Atom Density in Ar-N₂-H₂ and Ar-O₂-H₂ Flowing Microwave Post Discharges.

著者 (5件)： CZERWIEC T (Ecole des Mines de Nancy, Nancy, FRA) ,  GAVILLET J (Ecole des Mines de Nancy, Nancy, FRA) ,  BELMONTE T (Ecole des Mines de Nancy, Nancy, FRA) ,  MICHEL H (Ecole des Mines de Nancy, Nancy, FRA) ,  RICARD A (Univ. Paris-sud, Orsay, FRA)
資料名： Journal de Physique. 3  (Journal de Physique. 3)
巻： 6  号： 9  ページ： 1205-1212  発行年： 1996年09月 
JST資料番号： B0655B  ISSN： 1155-4320  CODEN： JPAIEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： フランス (FRA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 300及び1500PaでのAr-N₂,...

シソーラス用語： 高周波放電 ,...
準シソーラス用語： 原子密度

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分類 (3件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  気体放電  (BJ03020T) ,  荷電体衝撃・放電による反応  (CB06020R)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ar ,  N2 ,  H2 ,  O2 ,  マイクロ波 ,  放電 ,  原子密度