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J-GLOBAL ID:200906006895454189
高周波放電
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プラズマ
学術用語集 (1件):
学術用語集
国内学会と文部科学省によって編纂された学術用語集の用語です
分光学編(増訂版) / 高周波放電 / high-frequency discharge
上位語 (1件):
放電
(electric discharge)
放電 について
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下位語 (4件):
RF放電
(radiofrequency discharge)
RF放電 について
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マイクロ波放電
(microwave discharge)
マイクロ波放電 について
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マルチバクタ放電
(multipactor discharge)
マルチバクタ放電 について
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容量結合高周波放電
(capacitively coupled high frequency discharge)
容量結合高周波放電 について
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