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J-GLOBAL ID：200902205016445781   整理番号：03A0580982

集束イオンビーム照射とアルカリエッチングを併用した極微細加工 (第2報)

著者 (6件)： 柴田浩一 (千葉大 大学院) ,  川堰宣隆 (富山大 大学院) ,  森田昇 (富山大 工) ,  芦田極 (産業技術総合研) ,  谷口淳 (東京理大 工) ,  宮本岩男 (東京理大 工)
資料名： マイクロファブリケーション研究の最新動向  (マイクロファブリケーション研究の最新動向テキスト)
巻： 12  ページ： 39  発行年： 2003年06月19日 
JST資料番号： L3461A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 前報(精密工学会秋季講演会論文集,p317,2002)に続き...

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,...

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分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 集束イオンビーム ,  アルカリエッチング ,  併用 ,  極 ,  微細加工