研究者
J-GLOBAL ID:200901026529290753
更新日: 2022年09月18日
芦田 極
アシダ キワム | Ashida Kiwamu
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所属機関・部署:
独立行政法人産業技術総合研究所 先進製造プロセス研究部門 マイクロ加工システム研究グループ
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ホームページURL (1件):
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=K11683998
研究分野 (1件):
加工学、生産工学
研究キーワード (5件):
AFM
, マイクロファクトリ 走査プローブ顕微鏡
, マイクロプレス 工作機械
, ナノ機械加工
, 機械加工 超精密切削加工
MISC (18件):
Noritaka Kawasegi, Noboru Takano, Daisuke Oka, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Kazutaka Kanda, Shigeto Takano, Tsutomu Obata, Kiwamu Ashida. Nanomachining of silicon surface using atomic force microscope with diamond tip. JOURNAL OF MANUFACTURING SCIENCE AND ENGINEERING-TRANSACTIONS OF THE ASME. 2006. 128. 3. 723-729
Noritaka Kawasegi, Noboru Morita, Shigeru Yamada, Noboru Takano, Tatsuo Oyama, Kiwatnu Ashida, Jun Taniguchi, Iwao Miyamoto. Three-dimensional nanofabricalion utilizing selective etching of silicon induced by focused ion beam irradiation. JSME INTERNATIONAL JOURNAL SERIES C-MECHANICAL SYSTEMS MACHINE ELEMENTS AND MANUFACTURING. 2006. 49. 2. 583-589
シリコンモールドを用いたダイヤモンドアレイ工具の開発と応用(第2報) -任意切れ刃を持った加工用カンチレバーの作製-. 精密工学会誌. 2006. 72. 8. 1025-1029
N Kawasegi, JW Park, N Morita, S Yamada, N Takano, T Oyama, K Ashida. Nanoscale fabrication in aqueous KOH solution using tribo-nanolithography. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 2005. 23. 6. 2471-2475
N Kawasegi, N Morita, S Yamada, N Takano, T Oyama, K Ashida. Etch stop of silicon surface induced by tribo-nanolithography. NANOTECHNOLOGY. 2005. 16. 8. 1411-1414
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学歴 (2件):
千葉大学工学部機械工学科
千葉大学大学院自然科学研究科生産科学専攻博士課程
学位 (1件):
博士(工学)
所属学会 (3件):
砥粒加工学会
, 日本機械学会
, 精密工学会
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