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J-GLOBAL ID：200902212402076690   整理番号：09A0717205

スパッタ蒸着したナノモザイクルチル型TiO₂の熱安定性

Thermal stability of sputter deposited nanomosaic rutile TiO₂

著者 (1件)： AITA Carolyn Rubin (Dep. of Materials and the Advanced Coatings Experimental Lab., Coll. of Engineering and Applied Sci., Univ. of ...)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 27  号： 4  ページ： 648  発行年： 2009年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高密度の1/2〈011〉{011}型積層欠陥を有するルチル型格子に基づく分域構造がスパッタ蒸着したTiO₂膜で発見されている[J.Vac.Sci.Technol.A24,2054(2006)]。本論文では中温におけるナノモザイクルチルの熱安定性を報告する。膜を973Kで0.25~15時間焼なまし,X線回折により特性化した。Johnson-Mehl-Avrami-Kolmogorov解析は妨害された結晶成長を示した。この挙動に対する転位-ロッキキング機構を提唱した。積層欠陥を結合する1/2〈011〉Burgersベクトルを持つ部分転位は交差する{011}滑り面上を滑り,反応して定着したステアロッド転位を生成する。転位上昇に必要な高温無しに,ナノモザイクルチルに固有の1/2〈011〉{011}型欠陥は大きな結晶成長に反して熱安定性を与える。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 積層欠陥 ,  ルチル型結晶 ,  スパッタ蒸着 ,  分域構造 ,  *熱安定性 ,  焼なまし ,  X線回折 ,  *結晶成長 ,  転位【結晶】 ,  Burgersベクトル ,  *酸化チタン ,  薄膜成長

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： スパッタ蒸着 ,  TiO2 ,  熱安定性