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J-GLOBAL ID:200902212469554227   整理番号:08A0854757

自己組織化により調製したハニカムテンプレートを用いた金属ミクロドット及びミクロディスクの調製

Preparation of Metal Microdots and Microdiscs by Using Honeycomb Template Prepared by Self-organization
著者 (7件):
資料名:
巻: 267  ページ: 95-99  発行年: 2008年 
JST資料番号: D0318C  ISSN: 1022-1360  CODEN: MSYMEC  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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各種の支持体の表面に金属の微小ドットの配列を作る簡単な方法を開発した。ビスフェノールAポリカーボネート樹脂と,側鎖に長鎖アルキル基ならびにカルボキシル基を持ったポリアクリルアミド型両親媒性共重合体を,クロロホルムに溶解し高湿度環境下でガラス板上にキャストして溶媒を揮発させるとハニカム状に孔が配列したフィルムが生成した。このフィルムをSi,ガラス,ポリマなどの固体支持膜上に移し白金(Pt)及びパラジウム(Pd)をスパッタリングした後,ハニカムテンプレートフィルムを除去し,支持膜と共に硝酸銀メッキ液に浸漬してPt/Pdドット上に銀を析出させた後,支持膜を除去するとミクロディスクが得られた。ミクロディスクの形状は異方性で,表面は非対照であった。この製法は簡単で,各種金属のミクロディスクは導電性充填剤その他広い応用が可能であった。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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