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J-GLOBAL ID：200902247656464299   整理番号：07A0647527

r.f.スパッタ法によって作製したCr-B-N薄膜の組織形態

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著者 (1件)：
坂本佳紀

坂本佳紀 について

(富山工高専)

富山工高専 について


資料名：
大阪大学接合科学研究所共同研究報告

大阪大学接合科学研究所共同研究報告 について


巻： 2004  ページ： 107-108  発行年： 2006年03月 
JST資料番号： L3949A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
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スパッタ法

スパッタ法 について

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作製

作製 について

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Cr

Cr について

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薄膜

薄膜 について

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組織

組織 について

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形態

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