文献

J-GLOBAL ID：200902260136909642   整理番号：08A0229797

「微細加工用ダイヤモンド工具の開発と応用」

“Development and Application of Diamond Tools for Micromachining”

著者 (2件)： 森田昇 (富山大 大学院) ,  川堰宣隆 (富山県工技セ)
資料名： Nachi Technical Report  (Nachi Technical Report)
巻： 15  号： A1-B4  ページ： A2.1(1),A2.1-A2.7  発行年： 2008年02月20日 
JST資料番号： F0439A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密加工技術の発展にともない,機械加工においてもマイクロ・ナノメートルオーダの微細加工技術が求められている。これを達成するためには,工作機械の高精度化とともに,切削工具の高精度化,微細化が必須となる。本稿では,単結晶シリコンの異方性エッチングとダイヤモンドのCVD成膜技術を応用して,任意の切れ刃形状と配列を精密に規定できるダイヤモンドアレイ工具について述べる。さらに,それを応用したマイクロ・ナノメートルオーダの微細加工技術について概説する。(著者抄録)

シソーラス用語： *ダイヤモンド工具 ,  *微細加工 ,  切削工具 ,  工作精度 ,  ケイ素 ,  単結晶 ,  エッチング ,  化学蒸着 ,  切れ刃 ,  形態 ,  アレイ
準シソーラス用語： 単結晶シリコン ,  異方性エッチング

分類 (1件)： 切削一般  (QC02010V)

引用文献 (11件)：

• 高野 登・森田 昇・林 弘樹・川堰 宣隆・山田 茂・大山 達雄・神田 一隆・高野 茂人・小幡 勤: 精密工学会誌、70(11)、p.1402(2004)
• 川堰 宣隆・柴田 浩一・森田 昇・芦田 極・谷口 淳・宮本岩男: 日本機械学会論文集 (C編)、70(696)、p.2541(2004)
• 高野 登・森田 昇・林 弘樹・川堰 宣隆・山田 茂・大山 達雄・神田 一隆・高野 茂人・小幡 勤: 砥粒加工学会誌、48(9)、p.510(2004)
• 岡 大輔・高野 登・森田 昇・山田 茂・大山 達雄・川堰 宣隆・神田 一隆・高野 茂人・小幡 勤・稲垣 清紀: 2006年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、p.351(2006)
• A. A. Tseng・A. Notargiacomo and T. P. Chen: J. Vac. Soi. Technol.、B23(3)、p.877(2005)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微細加工 ,  ダイヤモンド工具 ,  開発 ,  応用